F06500 - SEMI F65 - 메트릭 PFA 튜브와 함께 사용되는 다이어프램 밸브의 마운팅 베이스에 대한 치수 사양

SEMI F65 - 메트릭 PFA 튜브와 함께 사용되는 다이어프램 밸브의 마운팅 베이스에 대한 치수 사양 -

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Volume(s): Facilities
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI F65-1101 - 비활성

개정

Abstract

이 사양은 글로벌 액체 화학물질 분배 시스템 위원회에서 기술적으로 승인했으며 일본 액체 화학물질 분배 시스템 위원회의 직접적인 책임입니다. 2001년 8월 3일 일본 지역 표준 위원회에서 승인된 현재 버전. 2001년 9월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 2001년 11월 출간 예정.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

이 문서는 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조를 위한 액체 화학물 분배 시설 및 공정 장비에서 메트릭 테트라플루오로에틸렌 퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA) 튜브와 함께 사용되는 다이어프램 밸브의 구멍 위치 및 볼트용 마운팅 베이스의 치수 및 간극 구멍 크기를 지정합니다.

　

향후 개발 방해를 방지하고 다이어프램 밸브의 호환성을 용이하게 하기 위해 이 문서의 범위는 § 2에 지정된 대로 제한됩니다.

이 문서는 크기가 표 1에 나열된 튜브의 액체 화학 물질 흐름을 차단 및/또는 조절하도록 설계된 다이어프램이 있는 양방향 밸브용 마운팅 베이스에 적용됩니다.

밸브는 내식성이 높고 유체에 대한 오염 기여도가 낮은 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 또는 PFA와 같은 재료로 만들어집니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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