SEMI F67 - 불활성 가스 정화기 용량 결정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2013년 6월 4일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 2001년 11월에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2008년 11월.

이 문서의 목적은 불활성 가스 정화기의 불순물 제거 능력을 정량화하는 테스트 방법을 정의하는 것입니다.

돌파 지점에서 가스 정화기의 불순물 용량을 결정합니다. 용량 테스트는 순수한 제로 가스에 주어진 가스 불순물의 ppm 수준을 추가하고 활성 불순물 종에 대한 테스트 정화기의 유출물을 모니터링하여 수행됩니다.

이 문서는 주입구 순도가 99.9995% 이상인 사용 지점(POU) 불활성 가스 정화기를 대상으로 합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E29 — 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 표준화된 압력, 온도, 밀도 및 유량 단위에 대한 가이드
SEMI F6 - 유해 가스 배관 시스템의 2차 봉쇄 가이드
SEMI F22 - 가스 분배 시스템 가이드
SEMI F33 — 대기압 이온화 질량분석기(APIMS) 교정을 위한 테스트 방법

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