SEMI F62 - 주변 및 가스 온도 영향에 대한 질량 흐름 컨트롤러 성능 특성 결정을 위한 테스트 방법 -

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Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI F62-1016 - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 2001년 7월에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2011년 11월.

이 문서의 목적은 가스 분배 시스템에 설치하기 위해 고려 중인 질량 흐름 컨트롤러(MFC)를 테스트하는 방법을 정의하고 MFC의 표시된 흐름과 실제 흐름에 대한 주변 및 가스 온도 효과를 정량화하는 것입니다.

이 테스트 방법은 유속이 최대 30slpm인 금속 및 폴리머 밀봉 MFC에 적용됩니다. 테스트에는 아래 나열된 테스트가 포함되며 다음 순서로 수행됩니다.

  1. 주변 온도 영향(정상 상태 및 과도 상태)

  2. 가스 온도 영향(정상 상태 및 과도 상태)

참조된 SEMI 표준

없음.

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