SEMI F54 - 응축 핵 계수기의 계수 효율 측정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 8월 18일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 4월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 게시된 2010년 11월.

가스에 대한 입자 사양에는 계수 효율이 지정된 응축 핵 계수기(CNC)를 사용해야 합니다. 이 문서는 CNC의 계수 효율성을 결정하기 위한 테스트 방법을 제공합니다.

이 문서는 (1) 크기가 0.01마이크로미터 이상인 염화나트륨(NaCl) 입자로 구성된 에어로졸 표준을 생성하고 대기압(1 × 105 Pa)에서 공기 중에 부유하는 방법을 제공합니다. (2) 입자의 크기와 농도를 제어합니다. (3) 에어로졸을 사용하여 입자 크기의 함수로서 CNC의 계수 효율을 결정합니다. 이 방법은 크기 감도가 0.01마이크로미터 이상인 CNC에 적합합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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