SEMI F53 - 열 질량 흐름 컨트롤러의 전자기 민감성을 평가하기 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 문서의 목적은 질량 흐름 컨트롤러(MFC)의 전자기 민감성을 테스트하고 평가하기 위한 구조화된 방법을 정의하는 것입니다.

이 문서에는 MFC가 업계에서 일반적인 전자파 간섭(EMI) 수준을 받을 때 기능적 특성을 유지할지 여부를 평가하는 데 사용할 수 있는 요구 사항 및 테스트 방법이 포함되어 있습니다. 이 테스트 방법은 EMI에 노출되었을 때 MFC의 방사 자화율(RS)과 전도 자화율(CS)을 모두 다룹니다. 전자기 자화율 요구 사항은 MIL-STD-461G에서 추출되었으며 테스트 방법은 RS103 및 CS106의 합성입니다. MIL-STD 461G에 정의된 테스트 방법.

 

참조된 SEMI 표준

없음.

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