SEMI F60 - 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 조성에 대한 ESCA 평가를 위한 시험 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2014년 8월 25일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2014년 12월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2001년 3월에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2011년 6월.

이 문서의 목적은 고순도 가스 분배 시스템에 설치하기 위해 고려되는 부동태화된 316L 스테인리스강 부품을 테스트하는 방법을 정의하는 것입니다. 이 테스트 방법을 적용하면 이 설치에 대한 자격을 얻기 위해 테스트한 구성 요소 간에 유사한 결과를 얻을 것으로 예상됩니다.

이 문서는 패시베이션 공정의 효율성을 측정하기 위해 표면 구성과 화학적 특성을 결정하기 위해 스테인리스 스틸 튜브, ​​피팅, 밸브 및 기타 부품의 내부 표면을 테스트하는 방법을 정의합니다.

이 방법의 목적은 크롬이 풍부한 산화물 층 내에서 중요한 표면 화학의 정확하고 재현 가능한 측정을 달성할 일반적인 장비 매개변수 및 조건 세트를 설명하는 것입니다.

이 문서는 튜빙, 피팅, 밸브 및 기타 구성 요소의 모든 크롬 강화 스테인리스강 표면을 포함하는 '수령한 대로' 표면 구성 및 화학 특성을 특성화하는 테스트 방법을 설명합니다. 이 절차에는 X선 광전자 분광법(XPS)이라고도 하는 화학 분석용 전자 분광법(ESCA)에 의한 총 Cr/Fe 비율, CrOX/FeOX 산화물 종 비율 및 표면 원소 조성의 측정이 포함됩니다.

이 문서는 또한 받은 표면에서 산화물 층을 거쳐 베이스 금속으로 확장되는 Cr, Fe, Ni, O 및 C에 대한 구성 ESCA 깊이 프로필 측정을 위한 테스트 방법을 설명합니다. 깊이 프로파일 측정은 패시베이션 공정의 결과로 수정된 표면층 전체에서 산화물 두께와 상대적 조성을 평가합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F19 — 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양

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