SEMI F61 - 반도체 초순수 시스템의 설계 및 작동 가이드 -

Abstract

이 가이드는 SEMI F63 및 세미 F75. 이러한 가이드는 함께 시설 엔지니어를 위한 권장 사항을 제공합니다. 및 설립을 담당하는 기타 제조 전문가 초순수(UPW)의 품질을 모니터링하고 제어하는 ​​프로그램 사용 지점(POU)까지 시스템.

이 가이드는 반도체 제조에 사용되는 UPW 시스템의 엔지니어링 및 구성 요소 요구 사항을 설명합니다. 이는 UPW 및 고온 초순수(HUPW) 시스템의 설계, 운영, 인증 및 모니터링을 위한 세부 사양을 개발하기 위한 공통 기반을 구축하기 위한 것입니다.

이 가이드는 고순도 물 공급을 위해 반도체 제조 시설에서 사용되는 고급 UPW 시스템에 적용됩니다. 웨이퍼 처리, 화학적 희석 및 기타 시설 응용 분야. 이것 가이드는 UPW 시스템 구성 요소 및 식별에 사용되는 정의를 제공합니다. 반도체 설비 용수와 관련하여 일반적으로 사용되는 기타 용어 시스템.

이 가이드는 UPW 시스템의 품질과 신뢰성을 보장하는 기타 관련 SEMI 표준에 대한 참조를 제공합니다. 이 가이드는 논리적으로 UPW용으로 개발된 일련의 SEMI 표준을 따릅니다. 여기에는 UPW의 품질을 정의하는 표준인 SEMI F63과 UPW 모니터링을 위한 표준인 SEMI F75가 포함됩니다.

이 가이드는 설계 및 처리장, 분배 시스템, 반도체 제조 도구가 연결됩니다.

이 가이드는 UPW 시스템 장비 및 유통에 사용되는 고순도 폴리머 재료의 테스트 및 사전 검증에 대해 설명합니다.

이 가이드는 UPW 시스템을 지원하는 데 필요한 사이트 유틸리티에 대한 최소한의 정의를 제공합니다.

이 표준은 건설 지침을 제공합니다. 새롭거나 최근에 업그레이드된 UPW 시스템의 검증 및 시운전.

이 표준은 UPW 시스템의 유지 관리, 운영, 안전 및 이중화에 대한 지침을 제공합니다. 이 가이드는 이온 교환 수지 및 필터 매체와 같은 중요한 구성 요소에 대한 추가 품질 정보를 제공합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI F19 — 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양

SEMI F57 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 사양

SEMI F63 - 반도체 공정에 사용되는 초순수 시스템 가이드

SEMI F75 — 반도체 제조에 사용되는 초순수 품질 모니터링 가이드

개정 내역

SEMI F61-0521(기술 개정)

SEMI F61-0617(전체 재작성)

SEMI F61-0301(재승인 0309)

SEMI F61-0301(최초 공개)

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