SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of the Standard before purchasing. Downloadable Standards are priced at $180 USD and $355 USD each; SEMI Members receive a 25% discount. SEMI Standards currently use PDF file format, which requires Adobe Acrobat Reader for viewing. Search for Standards by using the Search form at the top of the page or browse Current Standards by Volume, Topic, Language and Publishing Cycle below.

F05900 - SEMI F59 - 필터 또는 가스 시스템 흐름 압력 강하 곡선 결정을 위한 테스트 방법
F06000 - SEMI F60 - 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 조성에 대한 ESCA 평가를 위한 시험 방법
F06100 - SEMI F61 - 반도체 초순수 시스템의 설계 및 작동 가이드
SEMI F61 - 반도체 초순수 시스템의 설계 및 작동 가이드 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F06200 - SEMI F62 - 주변 및 가스 온도 영향에 대한 질량 흐름 컨트롤러 성능 특성 결정을 위한 테스트 방법
F06300 - SEMI F63 - Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing - SEMI Dev 2
F06400 - SEMI F64 - 질량 흐름 컨트롤러의 지시 및 실제 흐름에 대한 압력 영향을 결정하기 위한 테스트 방법
F06500 - SEMI F65 - 메트릭 PFA 튜브와 함께 사용되는 다이어프램 밸브의 마운팅 베이스에 대한 치수 사양
F06600 - SEMI F66 - Specification for Port Marking and Symbol of Stainless Steel Vessels for Liquid Chemicals
F06700 - SEMI F67 - 불활성 가스 정화기 용량 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F67 - 불활성 가스 정화기 용량 결정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F06800 - SEMI F68 - 정수기 효율 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F68 - 정수기 효율 결정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F06900 - SEMI F69 - 가스 전달 시스템의 운송 및 충격 테스트를 위한 테스트 방법
SEMI F69 - 가스 전달 시스템의 운송 및 충격 테스트를 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F07000 - SEMI F70 - Test Method for Determination of Particle Contribution of Gas Delivery System - SEMI Dev 2
SEMI F70 - 가스 전달 시스템의 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000
F07100 - SEMI F71 - 가스 전달 시스템의 온도 사이클 테스트 방법
SEMI F71 - 가스 전달 시스템의 온도 사이클 테스트 방법 정상 가격₩424,000 KRW 할인 가격₩240,000 KRW
F07200 - SEMI F72 - 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 산화물층에 대한 AES(Auger Electron Spectroscopy) 평가를 위한 테스트 방법
F07300 - SEMI F73 - 스테인리스 스틸 구성 요소의 젖은 표면 상태에 대한 주사 전자 현미경(SEM) 평가를 위한 테스트 방법
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