SEMI F40 - 화학 테스트를 위한 액체 화학 분배 구성 요소 및 순수 폴리머 준비 실습 -

Abstract

E 이 표준은 오류를 수정하기 위해 2022년 6월에 편집상 수정되었습니다. ¶10.4.2가 변경되었습니다.

이 관행은 액체 화학 물질 분배 시스템 구성 요소 및 제조에 사용되는 순수 폴리머를 평가하는 데 사용되는 화학 테스트 방법에 대한 준비 및 전처리 절차를 정의합니다.

이 실습에는 튜빙, 배관, 밸브, 조절기, 피팅, 개스킷, O-링 및 필터 하우징과 같은 구성 요소와 순수 폴리머에 적용할 수 있는 준비 절차가 포함됩니다.

이 실습은 SEMI F48 및 SEMI F57에 공통되는 액체 화학 물질 분배 시스템 구성 요소 및 순수한 폴리머에 대한 모든 전처리 및 분석 준비 절차를 정의하고 지정합니다. 각 유형의 구성 요소 또는 순수 폴리머 샘플은 식별된 화학적 테스트 방법을 사용하여 테스트하기 전에 이 실습의 절차에 따라 전처리 및 준비되어야 합니다.

이 방법은 49% 불산(HF), 30% 과산화수소(H2O2), 29% 수산화암모늄(NH4OH), 이소프로필 알코올(IPA) 및 초순수(UPW)와 함께 사용하기 위한 것입니다. 이 규정은 액체 화학 물질 분배 시스템 구성 요소를 추출하고 헹구는 데 사용할 수 있는 화학 물질의 순도를 정의합니다 . 다른 화학 물질도 사용할 수 있습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C69 - 폴리머 펠릿의 표면적 측정을 위한 테스트 방법

SEMI F48 — 폴리머 재료의 미량 금속 측정을 위한 테스트 방법

SEMI F57 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 사양

개정 내역
SEMI F40-0621E(편집 개정판)
SEMI F40-0621(기술 개정)
SEMI F40-0699E(재승인 0918)
SEMI F40-0699E(편집 개정)
SEMI F40-0699(최초 게시됨)

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