SEMI F41 - 반도체 공정에 사용되는 벌크 화학 물질 분배 시스템의 인증 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2016년 11월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 1999년 6월에 처음 출판되었습니다.

알림: 이 문서는 2016년에 완전히 재작성되었습니다.

이 가이드는 현장별 BCDS 사양을 개발하기 위한 기초로 최종 사용자와 공급업체가 사용할 수 있는 BCDS(벌크 화학 물질 분배 시스템)의 자격에 대한 논리적이고 체계적인 접근 방식을 제시합니다.

검증 프로세스에는 다음이 포함됩니다.

더 작은 주간 탱크 또는 운송 선박으로 이송되는 주 하역 탱크 시설과 같은 대형 이송 시설을 위한 벌크 분배 시스템.

다른 시스템에서 받아 팹 전체 또는 여러 사용 지점에 분배하는 시설 수준의 대량 분배 시스템.

특정 용도 시스템에만 분배하는 대량 분배 시스템.

위에서 지정되지 않은 다른 소규모 시스템에 분배하는 대량 분배 시스템.

이 가이드는 BCDS가 BCDS 제조업체의 권장 사항 및 고객 사양에 따라 설치되었으며 적절한 누출 테스트를 거쳤으며 사용 지점(POU)까지 기계적 및 물리적 무결성의 모든 요구 사항을 충족하는 것으로 나타났습니다. 이 문서의 목적상 POU는 선박, 하위 시스템, 팹 전체 또는 다중 지점 분배 시스템 또는 프로세스 소비 지점으로 간주됩니다.

BCDS는 일반적으로 미리 합의된 특정 수준에 따라 입자 수준 및 미량 금속 불순물에 대해 테스트됩니다. 특정 응용 프로그램 또는 특정 화학 물질의 경우 다른 테스트가 자격 프로세스에 통합될 수 있습니다. 이러한 기타 테스트에는 분석 분석, 음이온 분석, 양이온 분석, 총 산화 가능 탄소(TOC) 분석, 수분 분석, 추출물 및 기타 불순물이 포함될 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드
SEMI F57 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 사양

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