SEMI F48 - 폴리머 재료에서 미량 금속 측정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2014년 8월 25일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2014년 12월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 출판된 2009년 7월.

이 방법은 벌크 폴리머 재료에서 비휘발성 미량 무기 불순물을 측정하기 위한 절차를 제공합니다.

건식 회분화(DDA)에 의한 분해 또는 폐쇄 용기 내 분해(DCV) 준비 기술에 이어 이전에 획득하고 SEMI F40에 따라 세척한 샘플은 유도 결합 플라즈마 질량 분석법(ICP-MS), 흑연로 원자 흡수를 사용하여 미량 무기물에 대해 분석됩니다. 분광법(GFAAS) 및/또는 유도 결합 플라즈마 원자 방출 분광법(ICP-AES).

분석 자료에는 다음이 포함되지만 이에 국한되지는 않습니다.

• 퍼플루오로알콕시(PFA), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF), 에틸렌클로로트리플루오로에틸렌(ECTFE), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 아세탈 수지, 폴리염화비닐(PVC)과 같은 고분자 원료(수지) , 퍼플루오로메틸에테르계 퍼플루오로알콕시(MFA) 및 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 분말.
• 초순수(UPW) 및 액체 화학물 분배 시스템(LCDS)에 사용되는 튜빙, 배관, 피팅, 밸브, 조절기, 필터 하우징, 필터 카트리지, O-링 및 개스킷의 폴리머 구성 요소. 자세한 내용은 ¶3.8을 참조하십시오.
• 이온 교환 수지.
• 습식 장비 내부의 액세서리(예: 스핀 린스 건조기의 드럼, 퀵 덤프 린서의 탱크)뿐만 아니라 웨이퍼 캐리어 및 완드와 같은 반도체 장치 제조에 사용되는 폴리머 제품. 자세한 내용은 ¶3.8을 참조하십시오.

이 문서의 DDA 섹션은 샘플을 백금 또는 석영 도가니에 넣고 열 분해하는 애싱 기술을 나타냅니다. 머플로(muffle furnace) 또는 마이크로웨이브 머플로(muffle furnace)에서의 열 분해도 사용할 수 있습니다. 또한, 산소 플라즈마는 별도로 또는 이러한 기술과 함께 사용될 수 있습니다.

이 문서의 DCV 섹션은 상승된 온도 및 압력에서 폐쇄 용기 마이크로웨이브 산 분해를 나타냅니다. 또는 폐쇄 용기 열전도 가열이 적용될 수도 있습니다.

ICP-MS, GFAAS 및 ICP-AES는 모두 무기 분석에 적합한 방법입니다. ICP-MS는 더 민감하고 효율적이기 때문에 선호되는 방법입니다. 동일한 분석 성능 기준을 충족하는 경우 대체 절차를 사용할 수 있습니다. 각 실험실은 자체 운영 내에서 각 방법의 유효성을 검증할 책임이 있습니다.

이 방법은 표 1에 있는 요소에 적용할 수 있습니다.

표 1 적용 가능한 요소 목록(#1 참조)
알류미늄	마그네슘
바륨	망간
칼슘	니켈
크롬	칼륨
코발트	나트륨
구리	스트론튬
철	주석
선두	티탄
리튬	아연
몰리브덴	지르코늄
#1 제한 사항, ¶ 3.3을 참조하십시오.

이 방법은 최종 사용자가 원하는 경우 관심 분석 물질, 관심 매트릭스, 관심 농도 수준에서 성능이 입증되는 경우 다른 재료 또는 기타 비휘발성 요소에 사용할 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F40 - 화학 테스트를 위한 액체 화학 분배 구성 요소 준비 실습

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