SEMI F38 - 사용 지점 가스 필터의 효율성 검증을 위한 테스트 방법 -

Abstract

알림: 이 문서는 2019년에 완전히 재작성되었습니다.

이 문서의 목적은 입자 여과를 검증하기 위한 포괄적인 표준 테스트 시퀀스 사용 지점(POU) 가스 필터를 사용하여 달성할 수 있는 효율성.

이 테스트 방법은 반도체 응용 분야에서 불활성 및 공정 가스를 필터링하는 데 일반적으로 사용되는 다양한 매체(예: 금속, 세라믹 및 폴리머)의 POU 필터에 대한 평가 방법을 정의합니다. POU 필터는 상대적으로 낮은 유속(0.5 ~ 50slm)과 적당히 높은 압력 강하를 처리하도록 설계되었습니다. 필터 하우징과 여과 요소는 밀봉되고 분리할 수 없는 하나의 장치로 결합됩니다.

이 테스트 방법은 POU 가스 필터의 성능을 입증하기 위한 것입니다. 문제가 있을 때 특정 입자 여과 효율 등급을 초과합니다. §에 설명된 크기 범위의 단분산 에어로졸

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