SEMI F39 - 화학 혼합 시스템 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI F39-0621 - 현재

개정

Abstract

이 가이드는 액체 화학 물질 혼합 장비에 대한 용어, 혼합 기술 분류, 시스템 사양, 성능 특성화 및 검증 방법을 설정합니다.


이 가이드는 벌크 화학물 분배 시스템(BCDS)과 연결된 화학물 혼합 장비에 적용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드

SEMI E49.2 - 반도체 장비의 액체 화학 시스템에 사용되는 폴리머 어셈블리의 적격성 평가 가이드

SEMI F57 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 사양

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

개정 내역

SEMI F39-0621(기술 개정)

SEMI F39-0315(전체 재작성)

SEMI F39-0699(최초 게시됨)

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