SEMI F52 - 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조용 메트릭 PFA 튜브의 치수 사양 -

Name: F05200 - SEMI F52 - 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조용 메트릭 PFA 튜브의 치수 사양
Brand: semi.org
SKU: 11017
Price: 241000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩241,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI F52-1101 - 비활성

품목 옵션

Abstract

이 사양은 글로벌 액체 화학물질 분배 시스템 위원회에서 기술적으로 승인했으며 일본 액체 화학물질 분배 시스템 위원회의 직접적인 책임입니다. 2001년 6월 19일 일본 지역 표준 위원회에서 승인된 최신판. 2001년 8월 www.semi.org에서 처음 사용 가능. 2001년 11월 발행 예정. 최초 발행일은 2000년 6월입니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서는 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조 장비 및 시설에서 액체 화학 물질 분배를 위한 메트릭 테트라플루오로에틸렌 퍼플루오로알킬비닐-에테르 공중합체(PFA) 튜브의 크기 및 측정 방법을 정의합니다.

이 문서는 PFA로 만든 메트릭 튜브에 적용됩니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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