SEMI F64 - 질량 흐름 컨트롤러의 지시 및 실제 흐름에 대한 압력 영향을 결정하기 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 8월 18일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2001년 7월에 출판되었습니다. 이전에 2011년 11월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 가스 분배 시스템에 설치하기 위해 고려되는 질량 흐름 컨트롤러(MFC)를 특성화하는 방법을 정의하는 것입니다. 이 테스트 방법은 MFC 성능에 대한 과도 및 정상 상태 입구 및 출구 압력 조건의 영향을 정량화합니다.

이 문서는 MFC 압력 효과를 테스트하고 설명하는 것과 관련하여 제조업체와 사용자 간의 커뮤니케이션을 위한 공통 기반을 제공합니다.

이 테스트 방법은 표시된 흐름과 실제 흐름에 미치는 상류(입구) 및 하류(출구) 과도 압력 영향을 측정합니다.

이 테스트 방법은 정상 상태 입구 압력의 영향을 받는 MFC 설정점 및 표시된 흐름에 대한 실제 출력 흐름의 결과를 산출합니다.

이 테스트 방법은 최대 유량 범위가 최대 1000sccm인 MFC에 적용됩니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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