SEMI F57 - 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 고순도 폴리머 재료 및 구성요소 사양 -

Abstract

이 표준은 UPW 분배 시스템에서 초순수(UPW)를 운반하는 데 적합한 초고순도(UHP) 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 최소 성능 요구 사항을 지정합니다. UPW 시스템에 대한 자세한 내용은 SEMI F61, SEMI F63에서 확인할 수 있습니다.

또한 UHP 액체 화학 분배 시스템(LCDS)에 사용되는 폴리머 재료 및 구성 요소의 사용에 대한 권장 사항을 제공합니다. 이 사양에서 다루는 이러한 유통 시스템에는 대량 공급, 시설 유통 및 공정 장비 응용 프로그램이 포함됩니다.

이 사양의 요구 사항은 고온에서 UPW가 있는 재료 및 구성 요소를 테스트하는 데 중점을 두지만 이 사양의 사용자가 고려할 수 있는 부식제 및 산화제와 같은 다른 적용 가능한 화학 물질이 있을 수 있습니다. 그러나 각각의 가능한 액체 화학 스트림에 대해 방대한 수의 테스트 매개변수를 정의하는 것은 이 사양의 범위를 벗어납니다. 그럼에도 불구하고 이 사양은 공급업체와 최종 사용자가 UPW 이외의 화학 물질 또는 다른 온도 조건으로 테스트할 수 있는 가능성을 배제하거나 제한하지 않으며 동시에 이 사양의 요구 사항과 별도로 자체 내부 한계를 설정할 수 있습니다. .

이 사양은 폴리머 재료 및 구성 요소 성능 및 검증에 중점을 둡니다. 폴리머 재료 및 구성 요소가 이 사양의 의도를 충족하는지 확인하기 위한 작동 요구 사항이 적절한 경우 제공됩니다. 요약 목록은 다음과 같습니다.

• 규정 준수의 정량적 측정
• 메탈릭 기부 한도
• 이온 기여 한계
• 총 유기(산화 가능) 탄소 기여 한도
• 표면 거칠기 한계
• 규정 준수의 정성적 측정
• 기계적 성질
• 물리적 특성
• 화학적 내성
• 신뢰할 수 있음
• 추적성 요건
• 포장 요건
• 인증

이 사양은 표 1에 표시된 항목으로 구성되지만 이에 국한되지 않는 폴리머 재료 및 구성 요소와 관련이 있으며 아래에 나열된 액체 화학 물질 유형을 포함하되 이에 국한되지 않습니다.

• UPW
• 산, 염기 및 산화제
• 수용액
• 용제

이 표준에 명시된 요구 사항을 충족하는 폴리머 재료 및 구성 요소는 ¶1.3 에 설명된 대로 UPW 및 LCDS에 적합한 것으로 간주됩니다 . LCDS에서 폴리머 사용에 대한 추가 요구 사항은 SEMI C90을 참조하십시오.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI C69 - 폴리머 펠릿의 표면적 측정을 위한 테스트 방법
SEMI C90 — 액체 화학 물질 분배 시스템에 사용되는 PFA(퍼플루오로알콕시) 재료 테스트를 위한 테스트 방법 및 사양
SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드
SEMI F40 — 화학 테스트를 위한 액체 화학 분배 구성 요소 및 순수 폴리머 준비 실습
SEMI F61 - 반도체 초순수 시스템의 설계 및 작동 가이드
SEMI F63 — 반도체 공정에 사용되는 초순수 가이드

개정 내역
SEMI F57-0622(기술 개정)
SEMI F57-0120(기술 개정)
SEMI F57-0314(기술 개정)
SEMI F57-0312(기술 개정)
SEMI F57-0301(기술 개정)
SEMI F57-1000(초판)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.