F08100 - SEMI F81 - Specification for Visual Inspection and Acceptance of Gas Tungsten Arc (GTA) Welds in Fluid Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Applications - SEMI Dev 2

SEMI F81 - 반도체 제조 응용 분야의 유체 분배 시스템에서 가스 텅스텐 아크(GTA) 용접의 육안 검사 및 승인에 대한 사양 -

개정: SEMI F81-0611(0917 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 사양의 목적은 반도체 제조 응용 분야의 유체(액체 또는 가스) 분배 시스템에서 스테인리스강 및 기타 내부식성 금속 및 합금(CRA)의 가스 텅스텐 아크(GTA) 용접에 대한 육안 검사 및 승인 기준을 제공하는 것입니다. 이러한 기준은 용접이 반도체 제조 응용 분야에서 사용하기 위해 필요한 시스템 순도, 용접 무결성 및 용접 강도를 제공하기에 충분한 품질을 보장하기 위한 것입니다.

이 사양은 유체 분배 시스템에서 스테인리스강 및 기타 CRA의 GTA 자동 맞대기 이음 용접에 대한 검사 및 승인 기준을 정의합니다. 유체 분배 시스템에는 튜브, 파이프, 피팅, 밸브, 서브어셈블리 및 유체를 포함하고 분배하는 구성 요소가 포함됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F78 - 반도체 제조 응용 분야에서 유체 분배 시스템의 가스 텅스텐 아크(GTA) 용접 실습

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