SEMI F79 - 가스 분배 부품에 사용되는 실리콘과의 가스 호환성 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI F79-0914(0922 재승인) - 현재

개정

Abstract


이 가이드의 목적은 일반적인 가스 분배 시스템 조건에서 작동하는 가스 전달 시스템의 젖은 경로에서 실리콘과 접촉하는 가스의 호환성에 대한 리소스 정보를 식별하는 것입니다.

제공된 정보와 결론은 출판된 문헌에서 가져온 것입니다. 참고 문헌이 인용됩니다. 인용된 문헌의 타당성에 대한 의견은 없지만 인용된 문헌을 기반으로 권고가 이루어집니다.

제안 사항은 고유 산화물로 덮인 고순도 실리콘, 단결정 또는 다결정에 적용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
없음.

개정 내역
SEMI F79-0914(재승인 0922)
SEMI F79-0914(기술 개정)
SEMI F79-0710(전체 재작성)
SEMI F79-0703(최초 게시됨)

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