SEMI F71 - 가스 전달 시스템의 온도 사이클 테스트 방법 -

Abstract

이 지침은 글로벌 시설 위원회에서 기술적으로 승인했으며 일본 시설 위원회의 직접적인 책임입니다. 2002년 7월 19일 일본 지역 표준 위원회에서 승인된 현재 버전. 2002년 9월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 2002년 11월 출간 예정.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서의 목적은 가스 전달 시스템 온도 순환의 누출 성능에 대한 표준화된 방법론 및 절차를 제공하는 것입니다.

이 테스트 방법은 반도체 제조 장비에 설치된 가스 전달 시스템에 적용됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양

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