SEMI F72 - 부동태화 316L 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 산화물층에 대한 AES(Auger Electron Spectroscopy) 평가를 위한 테스트 방법 -

Abstract

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이 문서의 목적은 고순도 가스 분배 시스템에 설치하기 위해 고려되는 부동태화된 316L 스테인리스강 부품의 표면 조성을 특성화하는 테스트 방법을 정의하는 것입니다. 이 테스트 방법은 패시베이션 효과를 측정하기 위해 스테인리스 스틸 튜브, ​​피팅, 밸브 및 기타 부품의 젖은 표면에 적용하기 위한 것입니다.

이 문서는 패시베이션 공정의 효율성을 측정하기 위해 표면과 표면 근처 구성을 결정하기 위해 스테인리스 스틸 튜브, ​​피팅, 밸브 및 기타 부품의 젖은 표면을 테스트하는 방법을 정의합니다.

이 테스트 방법의 목적은 크롬이 풍부한 수동 산화물 층 내에서 재현 가능한 측정을 달성할 일반적인 기기 매개변수 및 조건을 설명하는 것입니다.

이 문서는 스테인리스강 표면의 크롬이 풍부한 산화물 층의 구성과 두께를 특성화하고 튜브, 피팅, 밸브 및 기타 구성 요소의 표면 오염을 감지하는 테스트 방법을 설명합니다. 절차에는 Auger 전자 분광법(AES)에 의한 표면 원소 조성의 검출 및 측정이 포함됩니다. 이 절차는 또한 받은 표면에서 산화물 층을 거쳐 베이스 금속으로 확장되는 Cr, Fe, Ni, O 및 C의 깊이 구성 프로파일에 대한 테스트 방법을 설명합니다. 이 측정은 산화물 두께를 제공합니다. 및 부동태화된 영역 전체에 걸친 크롬 농축 정보.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI F72-0214(재승인 0221)

SEMI F72-0214(기술 개정)

SEMI F72-0309(기술 개정)

SEMI F72-1102(최초 게시됨)

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