SEMI F68 - 정수기 효율 결정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2013년 6월 4일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 2001년 11월에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2008년 11월.

이 문서의 목적은 매트릭스 가스에서 활성 가스 불순물을 제거하기 위한 정화기의 효율성을 정량화하는 테스트 방법을 정의하는 것입니다.

주어진 불순물 종을 제거하기 위한 가스 정화기의 효율성을 결정합니다. 효율성 테스트는 순수한 매트릭스 가스에 ppm 수준의 가스 불순물을 추가하고 활성 불순물 종에 대한 테스트 정화기의 유출물을 모니터링하여 수행됩니다. 테스트는 공급업체가 권장하는 유량, 작동 온도 및 압력에서 수행됩니다.

순간 정화기 효율을 결정하는 방법을 확립합니다.

테스트 방법은 사용 지점(POU) 및 대규모 정화기에 적용됩니다.

이 방법은 낮은 수준의 오염 물질을 UHP로 효율적으로 제거하기 위한 것입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E29 — 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 표준화된 압력, 온도, 밀도 및 유량 단위에 대한 가이드
SEMI F6 - 유해 가스 배관 시스템의 2차 봉쇄 가이드
SEMI F22 - 가스 분배 시스템 가이드
SEMI F33 — 대기압 이온화 질량분석기(APIMS) 교정을 위한 테스트 방법

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