SEMI F74 - 가스 전달 시스템에 사용하기 위한 금속 씰 디자인의 성능 및 평가를 위한 테스트 방법 -

개정: SEMI F74-1103(0710 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 가스 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 개정판은 2010년 4월 30일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2010년 6월에 www.semi.org에서 처음 사용할 수 있습니다. 이전에 출판된 2003년 11월.

이 문서는 가스 전달 시스템에 사용되는 메탈 씰 설계를 평가하기 위한 테스트 방법입니다. 표면 장착형 가스 시스템과 기존의 금속 페이스 실 피팅 시스템을 모두 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 파이핑 성능 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드
SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양

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