SEMI F76 - 부식성 가스에 노출된 가스 시스템 구성 요소의 입자 기여 평가를 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 8월 18일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2003년 3월에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2010년 11월.

알림: 이 문서는 약간의 편집 변경을 거쳐 재승인되었습니다.

이것은 부식성 가스 서비스에서 잠재적인 입자 생성에 대한 가스 취급 구성 요소를 비교하는 테스트 방법입니다. 선택 프로세스에서 비교할 구성 요소 그룹에 대한 성능 데이터를 생성하는 실용적인 수단으로 사용됩니다.

이 테스트 방법은 밸브, 입자 필터 및 저압 조절기에 적용됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C59 — 질소 사양
SEMI E66 — 질량 흐름 컨트롤러에 의한 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F43 - 사용 시점 가스 정화기 및 가스 필터에 의한 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법

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