SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F02300 - SEMI F23 - グレード10/0.2 引火性特殊ガスの粒子に関する仕様
SEMI F23 - グレード10/0.2 引火性特殊ガスの粒子に関する仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F02400 - SEMI F24 - グレード 10/0.2 不活性特殊ガスの粒子濃度の仕様
SEMI F24 - グレード 10/0.2 不活性特殊ガスの粒子濃度の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F02500 - SEMI F25 - グレード 10/0.2 酸化剤特殊ガスの粒子濃度の仕様
SEMI F25 - グレード 10/0.2 酸化剤特殊ガスの粒子濃度の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F02600 - SEMI F26 - グレード 10/0.2 有毒特殊ガスの粒子濃度の仕様
SEMI F26 - グレード 10/0.2 有毒特殊ガスの粒子濃度の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F02600 - SEMI F26 - グレード10/0.2 安全特殊ガスの粒子に関する仕様
SEMI F26 - グレード10/0.2 安全特殊ガスの粒子に関する仕様 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F02700 - SEMI F27 - 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) によるガス分配システムおよびコンポーネントの水分相互作用および含有量の試験方法
F02700 - SEMI F27 - ガス配分システムおよび部品の水分相互作用および含有量の大気圧電離質量分析(APIMS)による,テスト方法
F02800 - SEMI F28 - プロセスパネルからの粒子発生を測定するための試験方法F02800 - SEMI F28 - プロセスパネルからの粒子発生を測定するための試験方法
SEMI F28 - プロセスパネルからの粒子発生を測定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F02800 - SEMI F28 - プロセスパネルからの粒子クル発生を測定するテスト方法
SEMI F28 - プロセスパネルからの粒子クル発生を測定するテスト方法 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F02900 - SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効率の試験方法
SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効率の試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F02900 - SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法
SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法 セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F03000 - SEMI F30 - 設置場所での微量ガス不純物および微粒子の浄化装置性能試験の試験方法
F03000 - SEMI F30 - 据付現場における微量ガス不純物およびパーティクルに関する精製器性能テストの起動および検証
F03100 - SEMI F31 - バルク化学物質分配システムのガイド
SEMI F31 - バルク化学物質分配システムのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F03200 - SEMI F32 - 高純度遮断バルブの流量係数を決定するための試験方法
SEMI F32 - 高純度遮断バルブの流量係数を決定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
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