SEMI F27 - ガス配分システムおよび部品の水分相互作用および含有量の大気圧電離質量分析（APIMS）による，テスト方法 -

Abstract

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本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は1997年9月発行。前版は2003年11月発行。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

このテストは、除去可能な水分量および微量なガス相水分との相互作用の程度を、ガス分配システムおよび部品に関して測定することである。 この方法はppt（1兆分の1 ）単位の微量水分を分析するため実用化された唯一の方法であり、また反応時間が優れているからである。 および反応時間を所有が現在まだ実用化されていない他の方法を適用する際の留意点とすることもできる。

このテストの結果は，システムおよび部品の品質の格付けに使用できます，また心配した使用者であれば，分配システム挙動の数値的シミュレーションの入力値としても使用できます。

システムおよび部品の種類

ガス相水分レベルは表面からの脱着によって支配されるので、この手順は、表面積の大きな部品、例えばパーティクルフィルタや管のような部品に最も適切と予想される。その水分相互作用が少なすぎてこのテストでは測定できない場合がある。チェックバルブとリリーフバルブがテストできるのは、それらの操作パラメータがテスト条件と一致しているときだけである。

管サンプルは有用な結果を得るには相当長く（ 3 ～ 4 メートルで）なくても構いません。 ただし、それらを実際にテスト作業台に置くためU字形に曲げることができます。 現在、超高純度部品は大半が金属ガスケットコネクタを付けて供給される。この種の継手は通常、管に溶接されているがこれは推奨できない。実験結果にバラツキを引き起こすそれが管理できないからである。圧縮継手または適切な期限を使用すべきである。圧縮継手は最初に接続してから連続のテストが終わるまで外に出るべきではない。こうすれば、接続が完全にできる。するヘッダは同じ種類のヘッダを使用して、全てのチューブサンプルをテストすべきである。

精製器は特別のテスト手順を要求するため、ここでは記載されていません。

ラインに接続される部品から成る単純なシステムは，本方法によってテストできる。複雑なシステム（視点2つ以上の入口および／または出口がとれるシステム）は，テスト構成（どの入口および出口を選ぶか）によってその性能が異なります。このようなシステムのテストについては本書では認められていません。

ガス

動作状態

1. 「初期のドライダウン」状態。これを決定するのは受領した部品の水分含有量であって、製造工程および設計、表面の質、前処理および包装の影響を全て受けている水分含有量である。

2. 「アップセット反応」状態。これを決定するのは部品が吸収し、受領後の露出中にその後放散した水分量である。

SEMI C15 — ppm および ppb 湿度標準の試験方法

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