SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F01300 - SEMI F13 - ガスソース制御装置ガイド
SEMI F13 - ガスソース制御装置ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F01400 - SEMI F14 - ガス源機器エンクロージャの設計ガイド
SEMI F14 - ガス源機器エンクロージャの設計ガイド 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,800 JPY
F01500 - SEMI F15 - 六フッ化硫黄トレーサーガスおよびガスクロマトグラフィーを使用したエンクロージャの試験方法
F01500 - SEMI F15 - パソコンの試験方法(六フッ化硫黄のトレーサガス)のSEMI S6への移行
F01700 - SEMI F17 - 高純度高品質電解研磨 316L ステンレス鋼チューブ、コンポーネントチューブスタブ、およびチューブ製継手の仕様
F01800 - SEMI F18 - 熱可塑性プラスチックパイプおよびチューブの静水圧強度を決定するためのガイドとその設計基準
F01900 - SEMI F19 - ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する仕様
SEMI F19 - ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F01900 - SEMI F19 - ステンレススチール部品の接ガス・接液面の表面仕上げのための仕様
F02000 - SEMI F20 - 汎用、高純度および超高純度の半導体製造用途で使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼の棒、鍛造品、押出形材、プレート、およびチューブの仕様
F02000 - SEMI F20 - 汎用、高品質および超高品質半構造組立部品用の 316L 不锈钢棒材、锻材、挤圧縮型材、板材および管材の評価
F02000 - SEMI F20 - 高純度および超高純度の半導体製造アプリケーションで使用される汎用コンポーネント用の316Lステンレス鋼の棒鋼、鍛造品、押出成形品、鋼板、鋼管の仕様
F02100 - SEMI F21 - クリーン環境における浮遊分子汚染物質レベルの分類
SEMI F21 - クリーン環境における浮遊分子汚染物質レベルの分類 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F02100 - SEMI F21 - きれいな環境における空気を媒体とする分子汚染レベルの分類
F02200 - SEMI F22 - バルクおよび特殊ガス供給システムのガイド
SEMI F22 - バルクおよび特殊ガス供給システムのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F02300 - SEMI F23 - グレード 10/0.2 水素の粒子濃度の仕様
SEMI F23 - グレード 10/0.2 水素の粒子濃度の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
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