SEMI F20 - 高純度および超高純度の半導体製造アプリケーションで使用される汎用コンポーネント用の316Lステンレス鋼の棒鋼、鍛造品、押出成形品、鋼板、鋼管の仕様 -

Abstract

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本基準は、global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1995年発行。前版は2006年7月発行。

本仕様の目的は、汎用または高純度、超高純度の化学物質（気体または液体） 配分システム用コンポーネントを製造するために用いられる316Lステンレス鋼に必要な冶金学的清浄度に関する要求条件および材料組成を定義することである。

本仕様は、半導体製造設備で使用される汎用および高純度の化学物質（気体または液体） 割り当てシステムコンポーネントを製造のために用いられる316Lステンレス鋼に対する要求条件を、定義する。鍛造品，押出成形品についてはASTM A276に定義される，鋼板についてはASTM A240に定義される，鋼管についてはASTM A269およびA632に定義されるものである。

なし。

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