SEMI F21 - きれいな環境における空気を媒体とする分子汚染レベルの分類 -

Abstract

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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本ガイドは、Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので、North American Facilities Committeeが直接責任を負うものである。現版は、 2002年8月29日 North American Regional Standards Committeeで承認されている。 2002年9月にまずwww.semi.orgで入手可能， 2002年11月発行に至る。初版は1995年発行。

本基準の目的は，マイクロエレクトロニクスのきれいな環境を，分子（粒子ではない）汚染レベルに関して分類することである。レベルの一貫したコミュニケーション方法を提供する。本標準に添付される関連情報1を参照のこと。

この標準分類は，半導体の清浄な環境（プロセス装置の環境を含む）と，清浄度の維持装置の性能に対する仕様において利用される。

この基準の使用者は、その責任において、適切な安全及び健康上の作業方法を確立し、また使用前に規制上の制限への適用性を判断するものである。

なし。

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