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SEMI F17 - 高純度高品質電解研磨 316L ステンレス鋼チューブ、コンポーネントチューブスタブ、およびチューブ製継手の仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は世界ガス委員会によって技術的に再承認されており、北米ガス委員会が直接責任を負います。最新版は、2002 年 10 月 25 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 2002 年 12 月に www.semi.org で入手可能でした。 2003 年 3 月に出版予定。初版は 1995 年に出版されました。
注意: この文書は 2004 年に投票され、撤回が承認されました。
この仕様の目的は、高純度品質の電解研磨された 316L ステンレス鋼チューブ、コンポーネント チューブのスタブ、およびチューブから作られた継手の注文、表面状態、および品質保証要件を定義することです。
この仕様は、半導体製造施設の高純度化学物質（ガスまたは液体）供給システムで使用するための、電解研磨された 316L ステンレス鋼チューブ、コンポーネントチューブスタブ、およびチューブから作られたフィッティングの呼びサイズに関する特別な基準を定義します。
参照されるSEMI規格SEMI F16 — 高純度半導体製造用途向けに仕上げおよび電解研磨される 316L ステンレス鋼チューブの仕様
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