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SEMI F20 - 汎用、高純度および超高純度の半導体製造用途で使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼の棒、鍛造品、押出形材、プレート、およびチューブの仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様の目的は、 冶金学的清浄度要件と 316L の材料組成 一般的な部品の製造に使用されるステンレス鋼 用途・高純度・超高純度薬品（気体・液体） 流通システム。
この仕様は 316L の要件を定義します ASTM A276 に規定されているステンレス鋼棒、鍛造品、および押出形状、 ASTM A240 で指定されたプレートストック、および ASTM A269 で指定されたチューブ、および ASTM A632、汎用および用途に使用されるコンポーネントの製造に使用されます。 半導体における高純度化学物質（気体または液体）供給システム 製造施設。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI F20-0706E (再承認 0917)
SEMI F20-0706E (再承認 0611)
SEMI F20-0706E (編集改訂版)
SEMI F20-0706 (技術改訂)
SEMI F20-0305 (技術改訂)
SEMI F20-0704 (技術改訂、結合するために書き直された) セミ F2)
SEMI F20-0997 (技術改訂)
SEMI F20-95 (初公開)
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