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SEMI F20 - 汎用、高品質および超高品質半構造組立部品用の 316L 不锈钢棒材、锻材、挤圧縮型材、板材および管材の評価 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Chinese (Simplified)
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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この目的は、 普通、 高級、および超高級化学（気体または液体）分配システム部品の３１６Ｌ 不溶鋼の製造に使用される冶金要件と材料成分を決定することである。
この評価はASTM A276 の棒材、 锻材および圧縮型材、 ASTM A240 の板材、およびASTM A269 およびASTM に準拠しています。 A632 管材などの規格内の316L ノンステンレス鋼の要件は、 半導体製造装置の製造に使用される一般的なコンポーネントおよび高化学（ガスまたは液体）分配システムの製造に使用されます。
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