SEMI F19 - ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する仕様 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 5 月 19 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1995 年に出版されました。以前は 2010 年 3 月に出版されました。

この仕様の目的は、半導体製造施設の化学（ガスおよび液体）供給システムで使用されるステンレス鋼コンポーネントの接液面の品質に関する標準を提供することです。

この仕様は、SEMI F20に従ってステンレス鋼で製造され、半導体製造で使用されるガスや液体を制御または封じ込めることを目的としたチューブおよびコンポーネントの接液面特性要件および仕上げ合格基準を定義します。

実行される表面特性評価テストはここで指定されており、これらのテストを実行するための既存の規格が参照されます。

このテクノロジーに特有の用語は、この仕様の合格基準に関連するものとしてここにリストされるか、または特定のテスト方法に関連するものとして参照文書で定義されます。

SEMI F20 — 汎用、高純度および超高純度の半導体製造用途に使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼の棒、鍛造品、押出形材、プレート、およびチューブの仕様
SEMI F37 — ガス供給システムコンポーネントの表面粗さパラメータの決定方法
SEMI F60 — 不動態化された 316L ステンレス鋼部品の接液面の表面組成の ESCA 評価の試験方法
SEMI F70 — ガス供給システムの粒子寄与率を測定するための試験方法
SEMI F72 — 不動態化された 316L ステンレス鋼コンポーネントの接液面の酸化物層のオージェ電子分光法 (AES) 評価の試験方法
SEMI F73 — ステンレス鋼部品の接液面状態の走査型電子顕微鏡 (SEM) 評価の試験方法
SEMI F77 — 腐食性ガスシステムで使用される合金表面の電気化学的臨界孔食温度試験の試験方法

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