SEMI F19 - ステンレススチール部品の接ガス・接液面の表面仕上げのための仕様 -

本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2009年12月16日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となる。初版は1995年2月発行、前版は2004年3月発行。

注意: 本書は、編集上の修正を伴って、再承認されました。

本仕様の目的は、半導体製造設備の化学薬品（気体および液体）供給システムに使用されるステンレス鋼部品の接ガス・接液面の品質に関する基準を提供することである。

本仕様では、SEMI F20発売ステンレス鋼で製作された配管や部品の接ガス・接液面の特性評価に関する要件および仕上げの合格判定基準について定義し、また半導体製造で使用される気体と液体の管理や保管を目的としている。

実施すべき表面特性試験は，ここに規定される。また、これらの試験を行うための常にの基準は参照すること。

本技術に特有な専門用語は，本仕様の合格判定に関連するためこの中に記載されている，あるいは特有の試験方法に関係するため参照文書の中に定義されている。

SEMI F20 — 高純度半導体製造用途で使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼棒、押出形材、プレート、およびインベストメント鋳造の仕様

SEMI F37 — ガス供給システムコンポーネントの表面粗さパラメータの決定方法

SEMI F60 — 不動態化された 316L ステンレス鋼部品の接液面の表面組成の ESCA 評価の試験方法

SEMI F70 — ガス供給システムの粒子寄与率を測定するための試験方法

SEMI F72 — 不動態化された 316L ステンレス鋼コンポーネントの接液面の酸化物層のオージェ電子分光法 (AES) 評価の試験方法

SEMI F73 — ステンレス鋼部品の接液面状態の走査型電子顕微鏡 (SEM) 評価の試験方法

SEMI F77 — 腐食性ガスシステムで使用される合金表面の電気化学的臨界孔食温度試験の試験方法