Japan Store
SEMI F15 - 六フッ化硫黄トレーサーガスおよびガスクロマトグラフィーを使用したエンクロージャの試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格の技術内容はダウンロードしないでください。 SEMI S6 に移動されました。
この文書の目的は、永続的な情報を提供することです。 SEMI F15 の技術的内容が廃止されたことを示す撤回通知 付録 2「漏洩排出量を決定するための試験方法」に置き換えられます。 SEMI S6のトレーサーガスを使用。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI F15 — 硫黄を使用したエンクロージャの試験方法 六フッ化物トレーサーガスおよびガスクロマトグラフィー
SEMI S6 — 排気換気に関する EHS ガイドライン 半導体製造装置
改訂履歴
SEMI F15-0308 (1011 年廃止)
SEMI F15-0308 (技術改訂)
SEMI F15-93 (再承認 1104)
SEMI F15-93 (再承認 0699)
SEMI F15-93 (初公開)
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件