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SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年9月発行。前版は、 2003年11月発行。
本書が定義しているのは、半導体製造に使用されるガスソースシステムの最低許容レベルを決定するため推奨されるパージ効果テスト方法である。ようなことを意図している。
参照されるSEMI規格なし。
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