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SEMI F28 - プロセスパネルからの粒子クル発生を測定するテスト方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となる。 初版は1997年発行。前版は2003 年11 月発行。
この文書の目的は、高純度ガス配分システム中に設置されるプロセスパネルのテスト方法を定義することである。その間で比較可能なデータを得ることができると予想される。
本書は，プロセスパネルの粒子クル発生性能を比較するテスト方法を説明する。 「まま」の状態でのテストが意図するのは、ユーザーがプロセスプロセスパネルメーカーの製作、清浄化、およびパッケージの技術を評価できるようにすることである。両方のテスト方法に記述された規定流量は、典型的なプロセスパネルのための大きな流量の条件を表現している。
参照されるSEMI規格
なし。
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