SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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Artificial Intelligence (AI) Use Prohibited: You may not use the SEMI Standards, or any portion thereof, as input to any artificial intelligence or machine learning system, or for the purpose of training, testing, or improving any AI model. You also may not use AI to create derivative works, adaptations, or other materials derived from or substantially based on SEMI Standards, including but not limited to annotations, outlines, training materials, reference guides, or transformed versions, in any form or for any purpose. Any violation of this policy constitutes a breach and will result in suspended access to SEMI Standards.

S00800 - SEMI S8 - 반도체 제조 장비의 인체 공학 공학을 위한 안전 지침
SEMI S8 - 반도체 제조 장비의 인체 공학 공학을 위한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩225
Non-Member Price: ₩571,000
S00900 - SEMI S9 - SEMI S22로 이동한 반도체 제조 장비에 대한 전기 설계 검증 테스트 가이드
S01000 - SEMI S10 - 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S10 - 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩225
Non-Member Price: ₩571,000
S01100 - SEMI S11 - 반도체 제조 장비 미니 환경에 대한 환경, 안전 및 건강 지침
SEMI S11 - 반도체 제조 장비 미니 환경에 대한 환경, 안전 및 건강 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S01200 - SEMI S12 - 제조 장비 오염 제거를 위한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S12 - 제조 장비 오염 제거를 위한 환경, 건강 및 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S01300 - SEMI S13 - 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
S01400 - SEMI S14 - 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침
SEMI S14 - 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S01500 - SEMI S15 - 독성 및 인화성 가스 감지 시스템 평가를 위한 안전 지침
SEMI S15 - 독성 및 인화성 가스 감지 시스템 평가를 위한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S01600 - SEMI S16 - 수명 종료 시 환경 영향 감소를 위한 반도체 제조 장비 설계 가이드
S01700 - SEMI S17 - 무인 운송 차량(UTV) 시스템에 대한 안전 지침
SEMI S17 - 무인 운송 차량(UTV) 시스템에 대한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S01800 - SEMI S18 - 인화성 실리콘 화합물에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S18 - 인화성 실리콘 화합물에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S01900 - SEMI S19 - 제조 장비 설치, 유지보수 및 서비스 직원 교육을 위한 안전 지침
S02100 - SEMI S21 - 작업자 보호를 위한 안전 지침
SEMI S21 - 작업자 보호를 위한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S02200 - SEMI S22 - 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 지침
SEMI S22 - 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩225
Non-Member Price: ₩571,000
S02300 - SEMI S23 - 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드
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