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SEMI S15 - 독성 및 인화성 가스 감지 시스템 평가를 위한 안전 지침 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 안전 지침은 글로벌 환경 건강 및 안전 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2007년 4월 25일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2007년 6월에 www.semi.org에서 사용할 수 있었습니다. 원래는 2000년 2월에 출판되었습니다.
알림: 이 문서는 2007년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.
이 지침은 공장 직원, 제품 및 재료, 지역 환경 및 지역 사회의 안전을 모니터링하는 데 사용되는 고정 가스 감지 시스템의 평가에 대한 고려 사항을 제공합니다. 독성 및 인화성 가스를 기체 또는 액체 형태로 사용 및 저장하는 시설 및 장비에 적합한 평가 가이드 및 참고 소스를 제공합니다.
참조된 SEMI 표준
SEMI E33 — 반도체 제조 시설 전자기 호환성 사양
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