SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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Artificial Intelligence (AI) Use Prohibited: You may not use the SEMI Standards, or any portion thereof, as input to any artificial intelligence or machine learning system, or for the purpose of training, testing, or improving any AI model. You also may not use AI to create derivative works, adaptations, or other materials derived from or substantially based on SEMI Standards, including but not limited to annotations, outlines, training materials, reference guides, or transformed versions, in any form or for any purpose. Any violation of this policy constitutes a breach and will result in suspended access to SEMI Standards.

S02400 - SEMI S24 - Safety Guideline for Multi-Employer Work Areas
SEMI S24 - Safety Guideline for Multi-Employer Work Areas 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S02500 - SEMI S25 - 과산화수소 저장 및 취급 시스템에 대한 안전 지침
SEMI S25 - 과산화수소 저장 및 취급 시스템에 대한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S02600 - SEMI S26 - FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S26 - FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S02700 - SEMI S27 - 환경, 안전 및 건강(ESH) 평가 보고서 내용에 대한 안전 지침
SEMI S27 - 환경, 안전 및 건강(ESH) 평가 보고서 내용에 대한 안전 지침 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
S02800 - SEMI S28 - 반도체 제조 장비에 사용하기 위한 로봇 및 로드 포트에 대한 안전 지침
S02900 - SEMI S29 - Guide for Fluorinated Greenhouse Gas (F-GHG) Emission Characterization and Reduction
S03000 - SEMI S30 - 반도체 R&D 및 제조 공정에서 에너지 물질 사용에 대한 안전 지침
T00200 - SEMI T2 - 2차원 도트 매트릭스를 사용한 웨이퍼 마킹 사양
SEMI T2 - 2차원 도트 매트릭스를 사용한 웨이퍼 마킹 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
T00300 - SEMI T3 - 웨이퍼 박스 라벨 사양T00300 - SEMI T3 - 웨이퍼 박스 라벨 사양
SEMI T3 - 웨이퍼 박스 라벨 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
T00400 - SEMI T4 - 150mm 및 200mm 포드 식별 치수 사양
SEMI T4 - 150mm 및 200mm 포드 식별 치수 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
T00500 - SEMI T5 - 원형 복합 반도체 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양
SEMI T5 - 원형 복합 반도체 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
T00600 - SEMI T6 - 전자 데이터 교환(EDI)에 의한 테스트 결과 보고 절차 및 형식
SEMI T6 - 전자 데이터 교환(EDI)에 의한 테스트 결과 보고 절차 및 형식 할인 가격Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩290,000
T00700 - SEMI T7 - ​​2차원 매트릭스 코드 기호가 있는 양면 연마 웨이퍼의 후면 마킹 사양
T00800 - SEMI T8 - 유리 평판 디스플레이 기판에 2차원 매트릭스 코드 기호를 표시하기 위한 사양
T00900 - SEMI T9 - 2차원 데이터 매트릭스 코드 기호로 금속 리드 프레임 스트립을 표시하기 위한 사양
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