SEMI S26 - FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인 -

Abstract

알림: 이 안전 가이드라인은 투표를 거쳐 2022년 철회 승인을 받았습니다.
　

이 안전 가이드라인은 하위 시스템을 포함하여 FPD 제조 시스템(FPDMS)에 대한 일련의 성능 기반 환경, 건강 및 안전(EHS) 고려 사항을 제공하기 위한 것입니다.

　

적용 가능성 — 이 안전 가이드라인은 FPD 제품 및 해당 하위 시스템을 제조, 측정, 조립 및 테스트하는 데 사용되는 FPDMS에 적용됩니다.

　

섹션 요구 사항의 우선 순위 — 이 안전 가이드라인의 다른 섹션에 있는 조항 간에 상충하는 경우 기술 문제를 구체적으로 다루는 섹션 또는 하위 섹션이 보다 일반적인 섹션 또는 하위 섹션보다 우선합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI F5 — 기체 유출물 처리 가이드
SEMI F14 — 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S3 — 공정 액체 가열 시스템에 대한 안전 가이드라인
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 가이드라인
SEMI S7 — 직원 평가 및 회사 자격 평가를 위한 안전 지침
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 가이드라인
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인

개정 내역
SEMI S26-0516 (철회 0123)
SEMI S26-0516(기술 개정)
SEMI S26-0415(기술 개정)
SEMI S26-0811(기술 개정)
SEMI S26-0311(기술 개정)
SEMI S26-0709(기술 개정)
SEMI S26-0309(기술 개정)
SEMI S26-0308a(개정 연기)
SEMI S26-0308(최초 공개)

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