SEMI S25 - 과산화수소 저장 및 취급 시스템에 대한 안전 지침 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000

Volume(s): Safety Guidelines
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI S25-0319 - 전류

개정

Abstract

이 안전 지침의 목적은 반도체 및 평판 디스플레이 산업에서 과산화수소의 저장 및 취급을 위한 장비 및 시스템에 적용되는 최소한의 안전 및 건강 기준을 설정하는 것입니다.

　

이 안전 가이드라인은 반도체 및 FPD 산업에서 일반적으로 사용되는 과산화수소(H 2 O 2 )의 농도(즉, 40% w/w 미만의 농도)를 다룹니다.

　

이 안전 지침은 반도체 또는 평판 디스플레이 시설 내에서 과산화수소의 보관, 취급, 운반 및 유통에 중점을 둡니다.

　

이 안전 지침에는 다음 섹션이 포함되어 있습니다.

  • 목적(§ 1)

  • 범위(§ 2)

  • 제한 사항(§ 3)

  • 참조 표준 및 문서(§ 4)

  • 용어(§ 5)

  • 안전 철학(§ 6)

  • 일반 원칙(§ 7)

  • 교육 및 훈련(§ 8)

  • 비상 대응(§ 9)

  • 재료, 구성 요소 및 구조(§ 10)

  • 보관(§ 11)

  • 운영(§ 12)

  • 분배 시스템 및 모듈/보조 장비(§ 13)

　

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침

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