SEMI S30 - 반도체 R&D 및 제조 공정에서 에너지 물질 사용에 대한 안전 지침 -

Member Price: ₩225
Non-Member Price: ₩485,000

Volume(s): Safety Guidelines
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI S30-0719E - 전류

개정

Abstract

E 이 표준은 2021년 4월 편집 수정되어 주석 76 및 주석 77이 추가되었습니다.

알림: 이 문서에 대한 적합성을 선언하려면 이 안전 가이드라인의 '해야 한다' 조항에 대한 적합성이 필요합니다. '할 수 있다', '제안', '선호', '권장', '참고' 또는 '관련 정보' 조항에 대한 적합성은 적합성을 선언하는 데 필요하지 않습니다.

이 안전 지침은 공정 화학 물질 공급에서 저감에 이르는 모든 사용 단계에서 반도체 R&D 및 제조 공정에서 에너지 물질의 조달, 보관, 취급 및 사용에 대한 최소한의 안전 기준을 목적으로 합니다.

이 안전 가이드라인은 발행 날짜를 기준으로 업계 모범 사례가 되도록 의도되었습니다.

이 문서의 범위는 ¶에 정의된 에너지 재료입니다.

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