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SEMI T5 - 원형 복합 반도체 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양 -
Abstract
이 사양의 목적은 웨이퍼 마킹의 일관성을 개선하고 자동 광학 문자 인식(OCR) 장비의 성능 요구 사항을 단순화하기 위해 원형 화합물 반도체 웨이퍼의 영숫자 마킹에 대한 표준 기준을 정의하는 것입니다.
이 사양은 특히 명목상 원형, 편평형 또는 노치 화합물 반도체 웨이퍼에 대한 영숫자 코드의 기하학적 및 공간적 제한을 정의합니다. 또한 개별 웨이퍼를 특성화하는 데 사용되는 기본 코드를 정의하여 실용적인 작업자 해석을 제공합니다. 이 사양은 이 표준을 준수할 때 사용할 수 있는 마킹 기술을 다루지 않으며 해당 기술과 관련된 건강 문제를 다루지 않습니다.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI M12 — 웨이퍼 전면의 일련의 영숫자 마킹 사양
개정 내역
SEMI T5-1022(기술 개정)
SEMI T5-1214(기술 개정)
SEMI T5-1106 (재승인 1111)
SEMI T5-1106(기술 개정)
SEMI T5-0706(기술 개정)
SEMI T5-96 (재승인 1104)
SEMI T5-96E(편집 개정판)
SEMI T5-95(최초 공개)
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