SEMI S28 - 반도체 제조 장비에 사용하기 위한 로봇 및 로드 포트에 대한 안전 지침 -

Abstract

이 안전 지침은 환경 보건 및 안전 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 9월 12일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2011년 10월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 안전 가이드라인은 반도체 제조 장비(SME)에 통합될 로드 포트 및 웨이퍼 핸들링 로봇에 대한 일련의 성능 및 설계 기반 안전 고려 사항을 제공합니다. 이 안전 가이드라인은 SEMI S2의 일반적인 범위를 넘어 로드 포트 및 웨이퍼 핸들링 로봇 제조업체에 대한 추가 지침을 제공합니다.

이 안전 지침은 SME에 통합하기 위한 로드 포트 및 웨이퍼 핸들링 로봇에 대한 필수 안전 문제를 다루며 산업용 로봇에 적용 가능한 다른 안전 지침 및 표준에서 다루지 않을 수 있습니다. 이 안전 지침은 통합 전에 로드 포트 및 웨이퍼 핸들링 로봇의 안전 평가에 대한 지침을 제공합니다. 이 안전 지침은 로드 포트 및 웨이퍼 처리 로봇 설계자가 SME에 통합하는 동안 발생할 안전 고려 사항을 예상하는 데 도움이 됩니다.

이 안전 지침은 완성된 SME 시스템의 안전 평가를 위해 통합자가 필요로 하는 문서 내용과 관련하여 로드 포트 및 웨이퍼 핸들링 로봇의 공급업체를 안내합니다. 이 안전 가이드라인은 반도체 제조 장비에 통합하려는 공급업체의 의도로 제조된 대기압 및 진공 웨이퍼 처리 로봇에 적용됩니다. 이 안전 가이드라인은 FOUP(Front-Opening Unified Pod), SMIF(Standard Mechanical Interface) 포드 및 카세트와 인터페이스하고 반도체 제조 장비에 통합되도록 제조된 로드 포트에 적용됩니다.

이 안전 가이드라인에는 산업용 로봇의 안전 기준 외에 안전에 대한 고려 사항이 포함되어 있습니다. 이 안전 지침은 SME와 독립적으로 평가되는 웨이퍼 핸들링 로봇 및 로드 포트에 적용됩니다. § 8의 문서화 조항은 설계 또는 개발 날짜와 관계없이 이 안전 지침이 게시된 이후에 판매되는 로드 포트 및 웨이퍼 핸들링 로봇에 적용됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E62 — 300mm FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 사양
SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더의 기계적 사양
SEMI E92 — 도구 상호 운용성 표준(BOLTS/Light)에 대한 300mm 경량 및 소형 박스 오프너/로더 사양
SEMI E100 — 6인치 또는 230mm 레티클을 운반 및 보관하는 데 사용되는 레티클 SMIF 포드(RSP) 사양
SEMI E117 — 레티클 로드 포트 사양
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S17 — UTV(무인 운송 차량) 시스템에 대한 안전 가이드라인
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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