SEMI T7 - ​​2차원 매트릭스 코드 기호가 있는 양면 연마 웨이퍼의 후면 마킹 사양 -

Abstract

이 사양은 웨이퍼의 고정된 품질 영역에 대한 침입을 최소화하면서 실리콘 웨이퍼를 표시하는 데 사용할 수 있는 표시 기호를 제공하기 위한 것입니다.

이 사양은 양면 연마 실리콘 웨이퍼의 후면 마킹을 위한 직사각형 2차원(2D), 기계 판독 가능, 이진 데이터 매트릭스 코드 기호의 기하학적 모양, 크기 및 내용(오류 검사 및 수정 코드 포함)을 정의합니다. SEMI M1을 준수하는 300mm 및 450mm 직경.

 

이 사양은 요구 사항을 준수할 때 사용할 수 있는 표시 기술을 지정하지 않지만 기호는 개별 도트를 레이저로 새겨서 얻은 것으로 가정합니다.

 

매트릭스 코드는 에피텍셜 웨이퍼, SOI 웨이퍼, 패턴이 없거나 패턴이 있는 연마 웨이퍼를 포함한 광범위한 웨이퍼 제품에 적용할 수 있습니다. 이 코드의 형식과 알고리즘은 ISO/IEC 16022에 지정된 2차원 기호를 기반으로 합니다.

 

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양

SEMI M12 — 실리콘 웨이퍼 전면의 일련의 영숫자 마킹 사양

 

개정 내역

SEMI T7-0516(재승인 0322)

SEMI T7-0516(기술 개정)

SEMI T7-0415(기술 개정)

SEMI T7-0303 (재승인 0709)

SEMI T7-0303(기술 개정)

SEMI T7-1102(기술 개정)

SEMI T7-0302(기술 개정)

SEMI T7-0997E3(편집 개정)

SEMI T7-0997E2(편집 개정)

SEMI T7-0997E(편집 개정)

SEMI T7-0997(최초 공개)

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