SEMI T8 - 유리 평판 디스플레이 기판에 2차원 매트릭스 코드 기호를 표시하기 위한 사양 -

Abstract

이 사양은 기판의 가장자리 제외 영역의 고정 품질 영역(FQA) 내에서 유리 평판 디스플레이(FPD) 기판을 표시하는 데 사용할 수 있는 표시 기호를 제공하기 위한 것입니다.

이 사양은 유리 FPD 기판의 전면 또는 후면 마킹을 위한 직사각형 2차원(2D), 기계 판독 가능, 이진 데이터 매트릭스 기호의 기하학적 및 공간적 관계와 내용(오류 검사 및 수정 코드 포함)을 정의합니다( SEMI D12의 가장자리 사양을 준수하는 '마더글라스' 기판이라고도 함). SEMI M12 및 SEMI M13에 지정된 영숫자 마킹 코드와 함께 사용할 수 있습니다.

이 사양은 요구 사항을 준수할 때 사용할 수 있는 마킹 기술을 지정하지 않지만 개별 점을 레이저로 새겨서 기호를 얻는 것으로 가정합니다. 미국 디스플레이 컨소시엄이 실시한 생존 가능성 실험 결과 그러한 마크가 적합합니다.

데이터 매트릭스 기호는 순수 기판, 가공 및 패턴 기판, 패널 어셈블리 및 디스플레이를 포함한 광범위한 FPD 제품에 적용할 수 있습니다. 애플리케이션 노트는 다중 패널 마더글라스 기판 내에 포함된 개별 패널 섹션에 데이터 매트릭스 기호를 적용하는 방법을 설명합니다. 이 코드의 형식과 알고리즘은 ISO/IEC 16022에 지정된 2차원 기호를 기반으로 합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI D12 — 평면 패널 디스플레이(FPD) 기판의 에지 조건에 대한 사양

SEMI M12 — 웨이퍼 전면의 일련의 영숫자 마킹 사양

SEMI M13 — 실리콘 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양

개정 내역

SEMI T8-1110 (재승인 0322)

SEMI T8-1110 (재승인 0216)

SEMI T8-1110(기술 개정)

SEMI T8-0698E(재승인 1104)

SEMI T8-0698E(편집 개정판)

SEMI T8-0698(최초 게시됨)

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