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SEMI S27 - 환경, 안전 및 건강(ESH) 평가 보고서 내용에 대한 안전 지침 -
Abstract
이 안전 지침은 환경 보건 및 안전 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2009년 12월 16일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2010년 2월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.
알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.
이 문서의 목적은 SEMI 안전 가이드라인에 대한 제조 장비(ME)의 평가를 문서화한 평가 보고서의 일관성과 가독성을 개선하는 것입니다.
이 문서는 ME의 SEMI 안전 가이드라인 준수에 대한 평가 보고서에 적용됩니다.
참조된 SEMI 표준
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S7 — 평가 담당자 및 회사 자격 평가를 위한 안전 지침
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인
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