SEMI T3 - 웨이퍼 박스 라벨 사양 -

Abstract

이 사양은 고급 추적 및 전자 데이터 교환 시스템에 필수적인 데이터의 통신을 용이하게 하기 위해 웨이퍼 상자에 인쇄된 기계 판독 가능 라벨의 공통 형식, 내용, 크기 및 위치를 제공합니다. 이러한 라벨은 웨이퍼의 파라메트릭 특성에 대한 자세한 정보를 제공하지 않는다는 점에서 일반적인 상업 관행에서 사용되는 라벨과 다릅니다. 이러한 정보는 이제 고급 추적 시스템에 쉽게 저장됩니다.

　

이 사양은 두 개의 바코드 기호와 관련된 사람이 읽을 수 있는 해석을 포함하는 레이블을 다룹니다.

　

이 사양은 또한 바코드 기호보다 훨씬 더 많은 정보를 수용할 수 있는 2차원 데이터 매트릭스 코드 기호를 다룹니다. 이 기호는 기존의 추적성 및 라벨링 절차에서 공장 전체에서 공통 판독 장비를 사용할 수 있는 미래를 위해 계획된 포괄적이고 통합된 시스템으로의 원활한 전환을 제공하기 위해 포함되었습니다. Data Matrix 기호가 바코드 기호 없이 사용되는 경우 관련 사람이 읽을 수 있는 해석이 제공됩니다.

　

이 사양에 따라 제공되는 라벨은 전면 개봉 배송 상자(FOSB) 라벨과 백 라벨 모두에 대해 SEMI M45에 자세히 설명된 300mm 웨이퍼 배송 시스템의 특수 요구 사항을 충족합니다.

　

이 사양은 직경이 100mm 이상인 실리콘 웨이퍼의 보관 및 운송에 사용되는 웨이퍼 상자용 레이블의 크기, 메시지 내용 및 기호 요건을 다룹니다.

　

100~200mm 직경의 웨이퍼와 함께 사용되는 웨이퍼 상자의 경우, 이 사양은 웨이퍼 상자가 두 위치 중 하나에 보관될 때 웨이퍼 상자의 내용물을 식별할 수 있도록 두 개의 유사한 레이블을 제공합니다. 저장 선반의 전면과 평행하게 또는 웨이퍼 상자의 끝이 저장 선반의 전면과 평행하게. 웨이퍼 상자는 보관을 위해 일상적으로 쌓아두기 때문에 상자의 상단이나 하단에 상자 라벨을 부착하는 것은 권장되지 않습니다.

　

300mm 웨이퍼와 함께 사용되는 FOSB의 경우 이 사양에서는 두 개의 동일한 라벨을 제공합니다. 하나는 FOSB에, 다른 하나는 외부 백에 배치됩니다. 이러한 요구 사항은 SEMI M45의 요구 사항과 일치합니다. SEMI M31은 FOSB 치수를 지정합니다.

　

이 사양에서 다루는 라벨에 사용된 메시지 내용과 기호의 위치는 조사된 웨이퍼 상자에서 사용 가능한 평평한 영역의 크기와 일치하는 공간에 맞도록 설계되었습니다. 사용할 웨이퍼 상자에서 더 넓은 평면 영역을 사용할 수 있는 경우 라벨 크기를 늘리고 추가 메시지 내용을 포함할 수 있습니다.

　

이 사양에는 사용할 코드 형식의 특성에 대한 설명이 포함되어 있습니다.

　

이 사양에 포함된 라벨은 상자 자체와 웨이퍼 패키지의 상자 포장 부분에 부착할 수 있지만 웨이퍼 패키지의 상업적 운송에 사용되는 운송 패키지(외부 배송 상자)에는 부착할 수 없습니다.

 

바코드 형식은 ISO/IEC 16388에 지정된 Code 39를 기반으로 합니다.

　

데이터 매트릭스 코드의 형식은 ISO/IEC 16022에 지정되어 있습니다.

　

웨이퍼 상자 라벨은 웨이퍼 생산 완료와 동시에 클린룸 환경에서 부착하도록 고안되었습니다. 구성 재료와 라벨 부착에 사용되는 접착제는 이러한 용도를 염두에 두고 선택해야 하지만 해당 사양은 이 문서의 범위를 벗어납니다.

　

이 사양의 치수는 공칭 해상도가 203dpi(인치당 도트 수)인 프린터로 인쇄된 라벨에 적용됩니다. 더 높은 해상도의 프린터를 사용할 수 있지만 많은 치수가 이 사양의 치수와 다를 수 있으며 코드 필드가 지정된 라벨 크기 및 형식에 맞을 수도 있고 맞지 않을 수도 있습니다. 그러한 경우, 이 사양의 사용자는 라벨이 사용할 상자에 맞는 크기인지 확인해야 합니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M12 — 웨이퍼 전면의 일련의 영숫자 마킹 사양
SEMI M13 — 실리콘 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양

SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 사양
SEMI M45 - 300mm 웨이퍼 운송 시스템 사양
SEMI T7 — 2차원 데이터 매트릭스 코드 기호를 사용한 양면 연마 웨이퍼의 뒷면 마킹 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.