SEMI T4 - 150mm 및 200mm 포드 식별 치수 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000

Volume(s): Traceability
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI T4-0301(0419 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 사양의 목적은 포드 식별 태그 및 태그 식별 장치를 장착할 때 치수 호환성을 보장하는 것입니다.

　

이 사양의 범위는 다음을 정의하는 것입니다.

  • 포드 식별 태그를 장착할 수 있는 포드의 여유 공간

  • 데이터 전송을 허용하는 여유 공간.

　

이 사양은 150mm 및 200mm 표준 기계 인터페이스(SEMI E19)에 적용됩니다. SEMI E47에 따라 포드 처리에 필요한 공간이 고려됩니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E19 — SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양

SEMI E47 — 150mm/200mm 포드 핸들 사양


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