SEMI S23 - 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드 -

Abstract

E 이 표준은 여러 섹션을 수정하기 위해 2022년 2월에 편집상 수정되었습니다. § 6, 표 A1-3 및 표 A1-4가 변경되었습니다.

이 가이드는 반도체 제조 장비(SME)의 에너지, 유틸리티 및 재료 사용 효율성과 관련된 개념을 다룹니다.

 

이 가이드는 다음에 사용할 수 있는 도구입니다. SME가 사용하는 에너지, 유틸리티 및 자재를 분석합니다.

 

이 가이드는 또한 SME에서 에너지, 유틸리티 및 재료 사용과 관련된 측정을 다룹니다.

 

이 가이드는 또한 효율성을 촉진하기 위해 SME의 에너지, 유틸리티 및 재료 사용에 대한 지속적인 개선 계획을 다룹니다.

 

이 가이드는 다음과 같은 영역에서 사용 가능한 기술에 대한 독자의 인식을 높이기 위한 일련의 옵션 및 지침입니다. 에너지, 유틸리티 및 재료 사용 효율성. 특정 행동 방침 에너지, 유틸리티 및 재료 사용 측정을 위해 제안되며 사용 측정값을 등가 에너지로 변환.

이 가이드는 SME에서 에너지, 유틸리티, 재료 사용률 및 효율성 개선을 보고하는 방법을 설명합니다.

 

이 가이드는 또한 SME와 관련된 전체 에너지 소비량의 정량화 및 에너지 효율 개선 계획을 용이하게 하기 위해 에너지 등가 값의 사용을 제안합니다.

 

또한 이 안내서는 유틸리티, 재료 또는 에너지의 사용 또는 효율성에 대한 목표 설정, 확인 및 개선에 대해 설명합니다.

 

이 가이드는 SME 수명 주기의 사용 단계에서 프로세스, 유휴, 휴식 및 절전 모드를 다룹니다.

 

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

 

개정 내역

SEMI S23-1021E(편집 개정판)

SEMI S23-1021(기술 개정)

SEMI S23-1216E(편집 개정판)

SEMI S23-1216(완전 재작성)

SEMI S23-0813(기술 개정)

SEMI S23-0311(기술 개정)

SEMI S23-0708(기술 개정)

SEMI S23-0705(기술 개정)

SEMI S23-0305(최초 공개)

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